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2018年7月31日

DLC薄膜生长用复合离子电镀装置“SPS-2020”投放市场

1. 市场动向

为了延长金属产品的使用寿命,提高其性能,各个产业领域均在实施涂层加工。

特别是以碳为主要成分的非晶质碳硬质膜――类金刚石碳膜(DLC)的需求不断增加,因其耐磨损性、非粘附性、低摩擦性等特点,被广泛应用于铝切削用钻头等刀具、塑料、玻璃镜头、铝零部件用模具、离合器片、活塞环等汽车零部件等,市场规模以年均10%以上的速度不断扩大,因此DLC薄膜生长装置的高品质化、高速化需求也随之增长。

目前,不二越开发出可实现高品质、高速DLC薄膜生长的复合离子电镀装置“SPS-2020”,将投放市场。

2. “SPS-2020”的特点

(1) 通过复合薄膜生长技术提高薄膜生长品质

薄膜生长方法有两种。一种是在真空中通过离子束轰击薄膜生长物质的溅镀法,另一种是在等离子中注入包含薄膜生长物质的气体实现薄膜生长的P-CVD法,通过采用将两种方法相融合的复合薄膜生长技术,提高硬度、膜厚等薄膜生长品质。

(2) 高速DLC薄膜生长

通过搭载两只大电流的HCD式等离子枪,照射高密度的离子束,提高离子化率,与传统设备相比,DLC薄膜生长速度提高到1.5倍左右,改善了生产效率。

(3) 稳定的薄膜生长品质

通过采用本公司独自研发的等离子控制技术和最佳的机械结构,可减少所装填的工件间的膜厚波动,确保稳定的薄膜生长品质。

3. 目标市场
航 空 器 领 域 铝零部件切削用刀具、 支持高速旋转的轴承等
汽 车 领 域 低摩擦性、改善油耗的滑动零部件、 混合动力电机零部件等
工业机械领域 机器人零部件、动力传输零部件等
  医疗领域、光学领域等的其他领域
4. 技术参数
薄膜生长有效范围 Ø500 × 高 500mm
可处理的重量 200kg
尺 寸 宽5,000 × 长4,500 × 高3,000mm
支持的薄膜生长种类 DLC, TiN, AlCrN, TiAIN等
5. 发售计划
(1) 发 售 日 2018年8月
(2) 价  格 120百万日元(标准主机价格/不含税)
(3) 销售目标 年销售6台
6. 新商品咨询方式

温度控制系统事业部 企划部 TEL:076-471-2981

以 上